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傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。

MultiGas? 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MultiGas? 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。